【律特霍爾】一種延長MOCVD過濾器壽命的方法
本發(fā)明公開了一種延長MOCVD過濾器壽命的方法。本發(fā)明是在MOCVD過濾器前端加裝水冷裝置。水冷裝置包括水冷腔體,在水冷腔體內(nèi)設(shè)置有螺旋盤繞的水冷管,水冷管的進(jìn)水端和出水端分別設(shè)置于水冷裝置兩端,在水冷腔體還設(shè)置有用于過濾尾氣中大顆粒的不銹鋼網(wǎng)濾芯。水冷裝置一方面能使一般固體顆粒及低沸點(diǎn)物質(zhì)在進(jìn)入過濾器之前發(fā)生凝聚沉積,進(jìn)入過濾器中的顆粒物質(zhì)變少,降低了單個(gè)標(biāo)準(zhǔn)LED程序過程中濾芯的吸附量,延長濾芯壽命,另一方面可以降低進(jìn)入過濾器內(nèi)尾氣的溫度,減少更換過濾器時(shí)的等待時(shí)間,降低時(shí)間成本。 1. 一種延長MOCVD過濾器壽命的方法，其特征在于：在MOCVD過濾器前端加裝水冷裝置； 所述的水冷裝置包括水冷腔體，在水冷腔體內(nèi)設(shè)置有螺旋盤繞的水冷管，水冷管的進(jìn)水端和出水端分別設(shè)置于水冷裝置兩端，在水冷腔體還設(shè)置有用于過濾尾氣中大顆粒的不銹鋼網(wǎng)濾芯； 所述的水冷裝置一方面提前降低高溫尾氣的溫度，使得通過MOCVD過濾器時(shí)尾氣溫度相對較低，同時(shí)也將尾氣中大顆粒凝聚析出，在水冷裝置中****過濾，減少了到達(dá)MOCVD過濾器的大顆粒及其數(shù)量； 另一方面由于水冷裝置是一個(gè)連續(xù)的冷卻系統(tǒng)，在更換MOCVD過濾器時(shí)省去了冷卻等待的時(shí)間，在生產(chǎn)上節(jié)約了時(shí)間成本。
