性能指標

    本系統能夠適應多種規格單晶硅片檢測需求，能滿足以下性能指標：

能夠檢測硅片各種缺陷，包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP，具體檢測項目和測量誤差要求如表1所示；

檢測效率能達到3000片/小時；

   能實現自動上下料；

合格標準可設定，以適應區分不同的質量級別；

具備硅片分選功能：客戶可根據需求選擇分選工位的數量，各工位的分選標準可以自定義；

碎片率要求<0.1%；

可以進行數據存儲、統計、分析、查詢及圖表繪制等。配備網絡接口，可以進行測量設備現場聯網統一控制管理。測量結果能夠打印輸出。

表 1  檢測項目和精度