設(shè)備簡介：
　　1）適合單晶硅片研磨、切割后的批量清洗，多晶硅片線劇切片后的大批量清洗。
　　2）工藝流程：
　　DI水超聲＋氮?dú)夤呐荨鷩娏堋鷫A超聲→ 噴淋→溢流
　　3）設(shè)備采用聯(lián)動(dòng)機(jī)械手按節(jié)拍同時(shí)移動(dòng)籃具，其工藝時(shí)間可以自行調(diào)節(jié)
　　4）標(biāo)準(zhǔn)工藝下產(chǎn)量：硅片1000片/小時(shí)。