律特霍爾生產替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD設備K-465,K465i,E-300 機型的濾芯。 可根據客戶要求設計,訂做。(調整:尺寸,使用材料,整體構造等)為客戶產品打造合適的濾芯,確保各種過濾要求,達到優秀過濾效果。

Veeco  K465 K465i E300外延設備濾芯

產品說明:

該產品系我司針對Veeco K465i設備設計生產的濾芯,安裝于真空泵前,用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒;

2只/組(粗濾、細濾)

組成材料:

1、濾材: 耐高溫玻纖濾料

2、支撐材料:雙面304#不銹鋼金屬網

3、骨架:304#不銹鋼菱形網

4、密封墊圈:硅發泡橡膠墊片

5、密封膠:硅橡膠

規格:

1、端蓋:φ360、304#不銹鋼

2、耐高溫密封墊:φ340*φ265*T5

3、折數:一級(100μm):118折, 折高65mm;二級(25μm):88折,折高65mm

過濾效率:

1、粗濾:100μm=90%

2、細濾:25μm=99.95%

3、透氣量:1000L/Sec/㎡

產品特性:

1、采用兩級過濾工藝,分級過濾雜質、有效去除不同大小的顆粒雜質。

2、波紋工藝,有效過濾面積增加,容污能力強,使用周期長。

3、濾料采用玻纖濾料,具耐高溫、耐腐蝕,長期使用溫度可達250度以上。

4、專用的高精度過濾材料,空隙均勻,過濾精度高,有效保護設備。

我司長期供應K465i一級二級過濾器濾芯,無塵室初,中,高效過濾器產品質量穩定,能與原廠濾芯相媲美,已經通過國內知名大型光電科技公司使用,