設備型號:MC-200
設備用途:主要用于LED芯片制造工序之外延片退火、TCL退火金屬電極合金等
工藝流程:升溫→通氮氣→穩定溫度→石英舟及晶圓準備、裝片→進舟→退火合金→退貨完成、出舟→冷卻→卸片
技術特點:
●3點內熱偶控溫(串級溫度控制為可選型)
●全自動懸臂推拉系統、自動進出料
●緊湊的造型設計
●觸摸屏全自動控制
●溫度快速恢復功能
●雙溫區爐體
產地:廣東 | 歸屬行業:光伏生產設備
品牌:捷佳偉創/S.C
有效期至:長期有效
設備用途:主要用于LED芯片制造工序之外延片退火、TCL退火金屬電極合金等
工藝流程:升溫→通氮氣→穩定溫度→石英舟及晶圓準備、裝片→進舟→退火合金→退貨完成、出舟→冷卻→卸片
技術特點:
●3點內熱偶控溫(串級溫度控制為可選型)
●全自動懸臂推拉系統、自動進出料
●緊湊的造型設計
●觸摸屏全自動控制
●溫度快速恢復功能
●雙溫區爐體