技術特點：

●有效的真空檢測裝置安裝方法，保證真空準確性，同時可延長其清理校準周期。

●先進的控制方式和獨特的軟件，保證工藝過程的準確性、生產的穩定性和操作的簡便。

●有效的反應氣體處理裝置，延長換泵油時間，延長泵使用壽命，降低使用成本。

●比國內設備同行更成熟可靠的刻蝕工藝，確保刻蝕效果得到提升，直接提升產品品質。

●人性化的機器外形設計，和觸摸屏人機對話方式，更便于操作、維護、保養。

●配置進口壓力傳感器（薄膜規），采用獨特的安裝方式，有效防止粉塵粘附，提高抗干擾能力，消除零飄。

●優化設計的線圈固定裝置，線圈與石英管距離一致，并且確保線圈無脫落。

●獨特的輝光中斷報警功能。避免由于設備故障產生刻蝕不凈的電池片下傳。