工藝流程：石墨舟及硅片準(zhǔn)備→管內(nèi)充氮?dú)?rarr;進(jìn)舟→抽真空，壓力測(cè)試→氨氣預(yù)清理和檢查→管路抽真空，測(cè)漏，恒溫→預(yù)鍍膜→鍍膜→抽真空，壓力測(cè)試→清管路，充氮?dú)?rarr;退舟

技術(shù)特點(diǎn)Technical characteristics

5段控溫恒溫區(qū)

數(shù)字化控制，消除了模擬變量傳輸?shù)母蓴_

工藝舟自動(dòng)裝載

進(jìn)口射頻電源，脈沖式放電

進(jìn)口防腐蝕干泵

爐口的特殊設(shè)計(jì)

進(jìn)口閥門及自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)、全進(jìn)口VCR接頭

精確溫度控制系統(tǒng)

中央計(jì)算機(jī)集中控制

與進(jìn)口產(chǎn)品工藝品質(zhì)一致，具備優(yōu)越的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)

業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的背面鈍化疊層膜技術(shù)，有效提高晶體硅電池的轉(zhuǎn)換效率