工藝流程：石墨舟及硅片準備→管內充氮氣→進舟→抽真空，壓力測試→氨氣預清理和檢查→管路抽真空，測漏，恒溫→預鍍膜→鍍膜→抽真空，壓力測試→清管路，充氮氣→退舟

技術特點Technical characteristics

5段控溫恒溫區

數字化控制，消除了模擬變量傳輸的干擾

工藝舟自動裝載

進口射頻電源，脈沖式放電

進口防腐蝕干泵

爐口的特殊設計

進口閥門及自動壓力調節、全進口VCR接頭

精確溫度控制系統

中央計算機集中控制

與進口產品工藝品質一致，具備優越的性價比優勢

業內領先的背面鈍化疊層膜技術，有效提高晶體硅電池的轉換效率